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超高真空指的是低于10�6�17帕斯卡或100纳帕斯卡（1千万分之一帕斯卡）的压力。相比之下，大气压是101.3千帕（千帕斯卡），超过10亿倍，灯泡内的压力约为1帕斯卡，热水瓶壁的压力约为0.1帕斯卡，即使是在外部地球周围的空间不是超高真空，因为它的压力约为100微帕，是超高真空的千倍。在超高真空中，每个气体分子的平均自由程为40公里，因此，这些分子在相互碰撞之前会与它们的室壁多次碰撞。站在一堆书后面的女人超高真空主要用于表面分析技术，如俄歇电子能谱、x射线光电子能谱、二次离子质谱，热脱附光谱法、角分辨光电发射光谱法和要求高纯度的薄膜生长技术，例如分子束外延和超高压化学气相沉积。超高真空也用于粒子加速器，以创造一个空的束流路径。创造一个超高真空需要特殊的措施。特殊的室设计尽量减少表面积，必须使用高速泵，包括平行泵，高电导管用于泵时，必须消除滞留气体的凹坑（如螺栓螺纹），必须将腔室壁冷却到低温，以避免滞留在纳米级凹槽中的气体升华，所有金属部件必须电抛光，必须使用低放气材料，如不锈钢，并且系统必须在250°C到400°C下烘烤°C（482°F至752°F）以去除碳氢化合物或水的痕迹。放气（气体分子通过腔室中的微小裂缝缓慢侵入）可能是一个主要问题有些腔室可能因为制造方式而无法产生超高真空，而硬件必须被扔掉并更换。由于所有这些原因，实现超高真空的成本和难度都很高。虽然超高真空看起来有些极端，但有些环境是更优的真空，包括月球表面和星际空间，一些空间区域，如玻特斯空区，非常稀薄，每立方米只有一个原子。